半导体集成电路制造业的尾气处理方法有哪些？

1、半导体有也会产生废气吗？

半导体常见的双极管之一的NPN三极管流程主要工艺有：氧化、光刻、N型外延、基区扩散、发射区扩散、AI金属化、VOCs 、化学气体相沉积（CVD）钝化层等步骤，工艺流程与集成电路生产工艺类似。

由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大，排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。因此根据企业实际情况和需求，选择合适S的废气处理技术，才能获得更高的性价比。

2、集成电路产业废气应该如何处理呢？

针对酸碱性无机类废气，通常采用喷淋洗涤工艺处理，利用酸碱中和的原理，废气进入洗涤腔，酸性废气与喷淋碱液进行化学反应，碱性废气与喷淋酸液进行化学反应，通过酸碱中和反应，将酸碱废气吸收，达到净化的效果。

大风量低浓度，无颗粒物、无粘性无可用活性炭吸附和沸石浓缩转轮+焚烧。砷烷等与吸附剂发生化学吸附、复分解等反应，生成稳定的无毒无害的化合物，吸附剂是砷排系统关键之重。